申请/专利权人：意芯微电子材料(南通)有限公司

申请日：2023-07-21

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN220609273U

主分类号：B01D29/03

分类号：B01D29/03;B01D29/56;B01D29/64;B01D29/94

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权

摘要：本实用新型涉及蚀刻液过滤加工设备技术领域，公开了一种蚀刻液多级过滤装置，包括箱体和多个收集盒，所述箱体的上端中部设置有伺服电机，所述伺服电机的输出端套设有主动轮，所述主动轮的外部套设有传动带，所述传动带的内部两侧均套设有从动轮，两个所述从动轮的内部均套设有搅拌杆，两个所述搅拌杆的外部两侧均固定连接有刮板。本实用新型中，该装置在进行使用时，通过装置内部设置有多级滤网对其蚀刻液进行多级过滤，提高其过滤效果，同时其搅拌杆带动其刮板将其附着在滤网表面的杂质进行刮除，防止其杂质对其滤网进行堵塞，有效的提高了该装置的过滤效率，同时无需工作人员对其装置进行拆卸清理，降低了工作人员的劳动强度。

主权项：1.一种蚀刻液多级过滤装置，包括箱体1和多个收集盒3，其特征在于：所述箱体1的上端中部设置有伺服电机13，所述伺服电机13的输出端套设有主动轮16，所述主动轮16的外部套设有传动带15，所述传动带15的内部两侧均套设有从动轮14，两个所述从动轮14的内部均套设有搅拌杆18，两个所述搅拌杆18的外部两侧均固定连接有刮板17，所述箱体1的两侧端面两侧均开设有凹槽26，多个所述凹槽26的内部两侧均开设有卡槽23，所述箱体1的两侧端面两侧均开设有排污口12，所述箱体1的内部两侧均固定连接有框架20，两个所述框架20的内部均设置有滤网19，所述箱体1的上端一侧开设有进料口8；多个所述收集盒3的两侧端面两侧均固定连接有连接块6，多个所述连接块6的一侧端面中部均固定连接有凸块25，多个所述凸块25的内部两侧均设置有弹簧27，多个所述弹簧27的一侧端面均固定连接有卡块24，多个所述收集盒3的一侧端面上端均固定连接有进污管10。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 意芯微电子材料(南通)有限公司 一种蚀刻液多级过滤装置

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