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【实用新型】一种旋转式硅片下料分选装置_珠海广浩捷科技股份有限公司_202321998682.0 

申请/专利权人:珠海广浩捷科技股份有限公司

申请日:2023-07-27

公开(公告)日:2024-03-19

公开(公告)号:CN220627765U

主分类号:H01L21/677

分类号:H01L21/677;H01L21/67;B07C5/36;B07C5/38

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.03.19#授权

摘要:本实用新型涉及一种旋转式硅片下料分选装置,装置包括多个可旋转线体和与可旋转线体一一对应的乒乓横向切换料盒,乒乓横向切换料盒位于可旋转线体的下方,可旋转线体包括传送流线机构和旋转分选机构,传送流线机构安装在旋转分选机构上,且位于乒乓横向切换料盒的上方;不同质量等级的硅片通过传送流线机构进行直流传送到存放对应质量等级的乒乓横向切换料盒上,再通过旋转分选机构直接将硅片倾斜下料到乒乓横向切换料盒里,实现直接直流分料,提高了分选效率以及产能;同时相同长度流线可布置更多的料盒,提高了空间效率;实现无需皮带真空吸附硅片或额外接触式吸附硅片进行分选,解决了给环境带来噪音以及易造成硅片脏污和碎片的问题。

主权项:1.一种旋转式硅片下料分选装置,包括柜台1,其特征在于:还包括安装在所述柜台1上的起始直流流线体2、多个可旋转线体5和尾部直流流线体3,所述起始直流流线体2、多个所述可旋转线体5和所述尾部直流流线体3依次同一水平首尾相连,形成不同等级硅片的传送分选流线;还包括安装在所述柜台1上且与所述可旋转线体5一一对应的乒乓横向切换料盒8,所述乒乓横向切换料盒8位于所述可旋转线体5的下方;所述可旋转线体5包括支架9、传送流线机构10和旋转分选机构11,所述旋转分选机构11安装在所述支架9上,所述传送流线机构10安装在所述旋转分选机构11上,且位于所述乒乓横向切换料盒8的上方。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 珠海广浩捷科技股份有限公司 一种旋转式硅片下料分选装置

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