申请/专利权人：青岛歌尔微电子研究院有限公司

申请日：2023-06-01

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN220627770U

主分类号：H01L21/683

分类号：H01L21/683;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权

摘要：本实用新型提供了一种吸附装置，包括：底座；多个第一支撑件，分别设于底座的第一侧面，第一支撑件远离底座的一端具有承载待加工件的第一承载面，第一承载面上设有用于吸附待加工件的吸附口；至少一个活动件，每个活动件设于底座，每个活动件具有与第一侧面相对的顶升端，每个活动件在第一状态和第二状态之间可活动，在活动件处于第一状态时，顶升端与第一侧面之间的距离小于或等于第一承载面与第一侧面之间的距离，在活动件处于第二状态时，顶升端与第一侧面之间的距离大于第一承载面与第一侧面之间的距离，以顶升待加工件被切割后形成的废料。可以方便将切割产生的废料完全排出，避免碎屑残留导致挤压、损害目标产品和对刀片造成破坏。

主权项：1.一种吸附装置，其特征在于，包括：底座；多个第一支撑件，所述多个第一支撑件分别设于所述底座的第一侧面，每个所述第一支撑件远离所述底座的一端具有第一承载面，所述第一承载面用于承载待加工件，所述第一承载面上设有吸附口，所述吸附口用于吸附所述待加工件；与每个所述第一支撑件对应的至少一个活动件，每个所述活动件设于所述底座，每个所述活动件具有顶升端，所述顶升端与所述第一侧面相对，每个所述活动件在第一状态和第二状态之间可活动以调节所述顶升端与所述第一侧面之间的距离，在所述活动件处于所述第一状态时，所述顶升端与所述第一侧面之间的距离小于或等于所述第一承载面与所述第一侧面之间的距离，在所述活动件处于所述第二状态时，所述顶升端与所述第一侧面之间的距离大于所述第一承载面与所述第一侧面之间的距离，以顶升所述待加工件被切割后形成的废料。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 青岛歌尔微电子研究院有限公司 吸附装置

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