申请/专利权人：日产化学株式会社

申请日：2022-05-31

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117751327A

主分类号：G03F7/023

分类号：G03F7/023;H01L21/312;G03F7/004;C08F220/32

优先权：["20210728 JP 2021-123288"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明提供一种新型的正型感光性树脂组合物。该正型感光性树脂组合物包含下述A成分、下述B成分、下述C成分和溶剂。A成分：是a1、a2及a3的共聚物，且是不含羧基及羧酸酐基的共聚物，a1是下述式1表示的单体，a2是含有环氧环的单体，a3是酸解离常数pKa为14以上的含有羟基的单体，B成分：醌重氮化合物，C成分：光产酸剂式中，R0表示氢原子或甲基，R1表示单键或碳原子数为1或2的亚烷基，R2表示甲基，a表示1或2，b表示0～2的整数。

主权项：1.一种正型感光性树脂组合物，其包含下述A成分、下述B成分、下述C成分和溶剂，A成分：是a1、a2及a3的共聚物，且是不含羧基及羧酸酐基的共聚物，a1是下述式1表示的单体，a2是含有环氧环的单体，a3是酸解离常数pKa为14以上的含有羟基的单体，B成分：醌重氮化合物C成分：光产酸剂 式中，R0表示氢原子或甲基，R1表示单键或碳原子数为1或2的亚烷基，R2表示甲基，a表示1或2，b表示0～2的整数。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 日产化学株式会社 含有特定共聚物的正型感光性树脂组合物

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