申请/专利权人：王芳

申请日：2023-01-04

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117742090A

主分类号：G03F7/42

分类号：G03F7/42

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明提供了一种光刻胶剥离液及其应用和光刻胶的剥离方法，属于光刻胶剥离技术领域。本发明提供的光刻胶剥离液，按质量分数计，包括以下组分：有机胺类试剂5～25％；溶解剂30～60％；缓蚀剂1～15％；水20～50％；所述缓蚀剂包括第一缓蚀剂和第二缓蚀剂，所述第一缓蚀剂为山梨醇和或甘露醇；所述第二缓蚀剂为甲基苯并三氮唑、苯并三氮唑、亚氨基二乙酸、5‑氨基四氮唑、甲巯咪唑、硝基咪唑、巯基苯并三氮唑、葡萄糖醇、水杨酸和乙二醇中的一种或几种。本发明提供的光刻胶剥离液对光刻胶的剥离效果好，且对金属布线的腐蚀程度小；同时以水作为溶剂，使用后的废液便于回收利用，解决了传统有机系剥离液使用后废液难以处理的问题。

主权项：1.一种光刻胶剥离液，按质量分数计，包括以下组分：有机胺类试剂5～25％；溶解剂30～60％；缓蚀剂1～15％；水20～50％；所述缓蚀剂包括第一缓蚀剂和第二缓蚀剂，所述第一缓蚀剂为山梨醇和或甘露醇；所述第二缓蚀剂为甲基苯并三氮唑、苯并三氮唑、亚氨基二乙酸、5-氨基四氮唑、甲巯咪唑、硝基咪唑、巯基苯并三氮唑、葡萄糖醇、水杨酸和乙二醇中的一种或几种。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 王芳 一种光刻胶剥离液及其应用和光刻胶的剥离方法

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