申请/专利权人：深圳市荣者光电科技发展有限公司

申请日：2023-11-01

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117747379A

主分类号：H01J9/24

分类号：H01J9/24;H01J31/50;H01J29/86;H01J29/04

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.22#公开

摘要：本发明涉及一种低成本三代像增强器窗口与外延层的键合方法，包括步骤：配置窗口玻璃，对窗口玻璃的键合面进行抛光打磨；配置光电阴极，对光电阴极的外延片进行清洗，并在外延片的表面生长一层SiO2薄膜；配置石墨夹具，对石墨夹具进行煮洗和烘烤；依次将光电阴极的外延片和窗口玻璃放置在石墨夹具上，并使所述SiO2薄膜与窗口玻璃的键合面贴合；升温，在真空环境中对键合面进行加热；加压，当键合温度升至725℃后，对窗口玻璃施加压力并保压60～90min；退火，保压时间过后，卸除压力并按预定温度曲线退火；冷却，退火结束后放置在惰性气体环境中自然冷却。本发明可提高三代像增强器的良品率和生产效率。

主权项：1.一种低成本三代像增强器窗口与外延层的键合方法，用于将光电阴极粘接在光学玻璃表面，其特征在于，所述方法包括步骤：配置窗口玻璃，对窗口玻璃的键合面进行抛光打磨；配置光电阴极，对光电阴极的外延片进行清洗，并在外延片的表面生长一层SiO2薄膜；配置石墨夹具，对石墨夹具进行煮洗和烘烤；依次将光电阴极的外延片和窗口玻璃放置在石墨夹具上，并使所述SiO2薄膜与窗口玻璃的键合面贴合；升温，在真空环境中对键合面进行加热；加压，当键合温度升至725℃后，对窗口玻璃施加压力并保压60～90min；退火，保压时间过后，卸除压力并按预定温度曲线退火；冷却，退火结束后放置在惰性气体环境中自然冷却。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市荣者光电科技发展有限公司 低成本三代像增强器窗口与外延层的键合方法

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