申请/专利权人：南开大学

申请日：2023-12-22

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117737861A

主分类号：C30B29/52

分类号：C30B29/52;C30B25/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明公开了一种超平整Pd、Cu、Au二维单晶金属薄膜及其制备方法，属于二维金属材料领域。该Pd、Cu、Au二维单晶薄膜的制备方法是以金属氯化物粉末为原料，混合Bi2O3粉末，以高纯氩气为载气，在云母基底上进行化学气相沉积所得。该二维单晶薄膜与基底作用力弱，可垂直生长于基底之上，非常利于洁净转移与其他衬底之上。与该方法绿色、简单、经济易行，所得纳米金属薄膜具有厚度可控、畴区尺寸大、超平整的原子表面和超高的导电率，在微电子学领域具有重要研究价值和应用前景。

主权项：1.一种超平整Pd、Cu、Au二维单晶金属薄膜的制备方法，其特征在于：以金属氯化物粉末PdCl2、CuCl、AuCl3和Bi2O3粉末为原料，进行化学气相沉积，沉积完毕即得；所述金属氯化物粉末与Bi2O3粉末的质量比为0.1～0.5:1。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南开大学 一种超平整Pd、Cu、Au二维单晶金属薄膜及其制备方法

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