申请/专利权人:索泰克公司
申请日:2022-07-19
公开(公告)日:2024-03-22
公开(公告)号:CN117751705A
主分类号:H10N30/073
分类号:H10N30/073
优先权:["20210719 FR FR2107785"]
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.03.22#公开
摘要:本发明涉及一种将原子物种注入到压电衬底中的方法,该方法包含以下步骤:I提供包括压电部分112、210、310和导电部分122、320的衬底100、200、300;III将具有导电部分122、320的衬底100、200、300安装在卡盘140上方;以及IV将原子物种170注入到压电部分112、210、310中。
主权项:1.一种将原子物种注入到压电衬底中的方法,所述方法包括以下步骤:a提供包括压电部分112、210、310和导电部分122、320的衬底100、200、300,b将具有所述导电部分122、320的所述衬底100、200、300安装在卡盘140上方,以及c将原子物种170注入到所述压电部分112、210、310中。
全文数据:
权利要求:
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