申请/专利权人：先导薄膜材料(淄博)有限公司

申请日：2023-11-06

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117735975A

主分类号：C04B35/457

分类号：C04B35/457;C04B35/622;C04B35/638;C23C14/34

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明属于ITO靶材制备技术领域，公开了一种高密度大尺寸ITO靶材及其制备方法，该高密度大尺寸ITO靶材的制备方法，包括如下步骤：步骤1：将ITO素坯放入脱脂烧结一体炉内以100‑150℃h的升温速率升温至280‑300℃，保温10‑25h，过程中以20‑30Lmin的流量持续通入0.1MPa的干燥压缩空气；步骤2：待步骤1保温完成后，以80‑110℃h的升温速率升温至600‑620℃，保温8‑15h，过程中以20‑30Lmin的流量持续通入干燥压缩空气；步骤3：待步骤2保温完成后，以60‑100℃h的降温速率降温至400℃，并通入干燥压缩空气以使炉内压力达到0.15‑2MPa，然后保压保温15‑20h。本发明在脱脂与烧结工序之间设置了一道低温高压的保温保压工序，从而确保ITO素坯内的水分和粘结剂完全从靶材内部排出，提高靶材密度的同时还避免了靶材开裂。

主权项：1.一种高密度大尺寸ITO靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：将ITO素坯放入脱脂烧结一体炉内以100-150℃h的升温速率升温至280-300℃，保温10-25h，过程中以20-30Lmin的流量持续通入干燥压缩空气；步骤2：待步骤1保温完成后，以80-110℃h的升温速率升温至600-620℃，保温8-15h，过程中以20-30Lmin的流量持续通入干燥压缩空气；步骤3：待步骤2保温完成后，以60-100℃h的降温速率降温至400℃，并通入干燥压缩空气以使炉内压力达到0.15-2MPa，然后保压保温15-20h；步骤4：待步骤3保温保压完成后，以80-120℃h的升温速率升温至1300-1350℃，保温8-15h，过程中以20-30Lmin的流量持续通入干燥压缩空气；步骤5：待步骤4保温完成后，以80-120℃h的升温速率升温至1600-1700℃，保温5-20h，过程中以5-20Lmin的流量持续通入干燥氧气；步骤6：待步骤5保温完成后，先以60-100℃h的降温速率降温至1200℃，然后再以100-150℃h的降温速率降温至40℃，即可得到所述的高密度大尺寸ITO靶材。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 先导薄膜材料(淄博)有限公司 一种高密度大尺寸ITO靶材及其制备方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD