申请/专利权人：广东谛思纳为新材料科技有限公司

申请日：2023-11-30

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117737666A

主分类号：C23C14/34

分类号：C23C14/34;C23C14/35

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明公开了一种可旋转双面靶材真空镀膜装置，包括旋转筒、靶门框、旋转组件以及中频电源；旋转筒可旋转地连接至靶门框的内部；旋转组件连接至靶门框；旋转组件与旋转筒传动连接；旋转筒的顶端和底端均设置有溅射阴极组件；各溅射阴极组件上均贴合设置有靶材；中频电源设置于靶门框的外部；各溅射阴极组件分别与中频电源电连接；靶门框的底端开设有与旋转筒相正对的喷镀出口；旋转组件可带动旋转筒轴向旋转并使位于旋转筒顶端的靶材或位于旋转筒底端的靶材与喷镀出口相正对。某一端的靶材被消耗完后，可立即切换为另一端的靶材继续镀膜；也可将两端的靶材设置为不同种类的靶材，仅需旋转即可切换靶材的种类。镀膜作业的效率得到有效提升。

主权项：1.一种可旋转双面靶材真空镀膜装置，其特征在于，包括旋转筒、靶门框、旋转组件以及中频电源；所述旋转筒可旋转地连接至所述靶门框的内部；所述旋转组件连接至所述靶门框；所述旋转组件与所述旋转筒传动连接；所述旋转筒的顶端和底端均设置有溅射阴极组件；各所述溅射阴极组件上均贴合设置有靶材；所述中频电源设置于所述靶门框的外部；各所述溅射阴极组件分别与所述中频电源电连接；所述靶门框的底端开设有与所述旋转筒相正对的喷镀出口；所述旋转组件可带动所述旋转筒轴向旋转并使位于所述旋转筒顶端的靶材或位于所述旋转筒底端的靶材与所述喷镀出口相正对。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东谛思纳为新材料科技有限公司 可旋转双面靶材真空镀膜装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD