申请/专利权人：深圳市联得自动化装备股份有限公司

申请日：2023-08-21

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN116759361B

主分类号：H01L21/68

分类号：H01L21/68;H01L21/687

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2023.10.03#实质审查的生效;2023.09.15#公开

摘要：本申请涉及一种线性模组和半导体设备，线性模组包括：安装座，具有沿第一方向纵长的导向部；导向件，沿第一方向可移动地安装于导向部上；运动件，可受控地沿第一方向相对安装座运动；其中，导向件与运动件柔性连接，以吸收运动件和导向件之间沿第二方向上的相对运动，第二方向与第一方向相交。上述线性模组，由于导向部存在一定的加工精度或者装配精度误差，导向件沿导向部运动时，会在第二方向上相对运动件产生一定的相对运动。而通过导向件与运动件的柔性连接，来将第二方向上的相对运动吸收，从而使得运动件的运动工况不会受到影响，仍然保持导向件跳动前的工况，从而维持运动件输出线性运动的稳定性，保证线性模组整体工作的稳定性。

主权项：1.一种线性模组，其特征在于，所述线性模组包括：安装座（10），具有沿第一方向（X）纵长延伸的导向部（11）；导向件（20），沿所述第一方向（X）可移动地安装于所述导向部（11）上；运动件（30），在相交于所述第一方向（X）的第二方向（Y）上，所述运动件（30）与所述导向件（20）柔性连接，且所述运动件（30）被配置为能够相对沿所述安装座（10）在所述第一方向（X）上移动；所述线性模组还包括缓冲件（40），所述缓冲件（40）沿所述第二方向（Y）可形变；所述运动件（30）和导向件（20）经由所述缓冲件（40）柔性连接；缓冲件（40）的材质为金属，以通过金属的变形来吸收导向件（20）和运动件（30）之间的相对运动，同时缓冲件（40）的形状为矩形或者梯形，缓冲件（40）在第一方向（X）的长度，与在第二方向（Y）上的厚度的比例超过20倍；所述导向件（20）包括固定连接的导向本体（21）和导向安装块（22），所述导向本体（21）沿所述第一方向（X）可移动地安装于所述导向部（11）上；所述导向本体（21）和所述导向安装块（22）分别设置在所述缓冲件（40）在所述第二方向（Y）的相背两侧，且共同夹紧所述缓冲件（40）；所述缓冲件（40）具有沿第三方向（Z）相背设置的两端，其中一端与所述运动件（30）固定连接，另一端与所述导向件（20）固定连接，所述第三方向（Z）、所述第一方向（X）与所述第二方向（Y）两两相交且不共面；所述运动件（30）包括固定连接的运动本体（31）和运动安装块（32），所述运动本体（31）与所述运动安装块（32）分别设置在所述缓冲件（40）在所述第二方向（Y）的相背两侧，且共同夹紧所述缓冲件（40）。

全文数据：

权利要求：

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