申请/专利权人：住友电气工业株式会社

申请日：2020-03-19

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN113825863B

主分类号：C30B29/36

分类号：C30B29/36;C30B23/06;C30B33/00;H01L21/205

优先权：["20190517 JP 2019-093883"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2022.01.07#实质审查的生效;2021.12.21#公开

摘要：碳化硅衬底具有第一主面、第二主面和倒角部。第二主面位于与第一主面相反侧。倒角部与第一主面和第二主面各自连接。所述碳化硅衬底的最大直径为150mm以上。倒角部的表面锰浓度为1×1011原子cm2以下。

主权项：1.一种碳化硅衬底，其中，所述碳化硅衬底具有：第一主面；第二主面，所述第二主面位于与所述第一主面相反侧；和倒角部，所述倒角部与所述第一主面和所述第二主面各自连接，所述碳化硅衬底的最大直径为150mm以上，所述倒角部的表面锰浓度为1×1011原子cm2以下，且其中在所述倒角部处形成有磨削痕。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 住友电气工业株式会社 碳化硅衬底

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