申请/专利权人：江苏新智达新能源设备有限公司

申请日：2023-06-02

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN116779491B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/677

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2023.10.10#实质审查的生效;2023.09.19#公开

摘要：本发明提供了一种分立器件封装的移转机构，包括有供放置封装框架的底板和盖合于所述底板上方的顶盖，所述底板中设置有转运所述封装框架的移转机构，所述底板上设置有真空部，所述真空部包括设置于所述底板上的真空底仓和加热底板，所述真空底仓为顶部开口的中空结构，所述加热底板设置于所述真空底仓内部，所述加热底板和所述真空底仓之间具有间隙，所述真空底仓中穿设有支撑固定所述加热底板的支撑管，通过采用了加热底板和真空仓隔开分离式设计，并改由底部进气排气，降低了加热底板作为热源对其他部件的热影响，同时也对氮气进气过程和方式予以了改良，延长了机构中各部件的使用寿命和可靠性，提升了封装质量。

主权项：1.一种分立器件封装的移转机构，安装在底板的固定座上，其特征在于：包括横向驱动机构，所述横向驱动机构设置有横移座（401），所述横移座（401）横向滑动安装于所述固定座（6）上；竖向驱动机构，安装于所述横移座（401）上，所述竖向驱动机构设置有竖向移动的竖移座（408）；移转支架（409），与所述竖移座（408）固定连接，所述移转支架（409）上部左右两侧分别设置有承托封装框架（1）的托举杆（411）；二次横移机构（410），位于上部左侧，设置有横向滑动安装的二次横移架（4101）；左侧所述托举杆（411）安装在所述二次横移架（4101）上；所述横向驱动机构包括横向设置在所述固定座（6）上的横向丝杠（402）、安装于横向丝杠（402）的横向滑块（404）、驱动所述横向丝杠（402）转动进而带动所述横向滑块（404）移动的横向驱动电机（403），所述横移座（401）固定安装在所述横向滑块（404）上；所述竖向驱动机构包括竖向设置在所述横移座（401）上的竖向丝杠（405）、安装于所述竖向丝杠（405）的竖向滑块（406）、驱动所述竖向丝杠（405）转动进而带动所述竖向滑块（406）移动的竖向电机（407），所述竖移座（408）固定安装在所述竖向滑块（406）上；所述二次横移机构（410）包括横向设置在所述移转支架（409）上的第二横向丝杠（4102）、安装于第二横向丝杠（4102）的第二横向滑块（4103）、驱动所述第二横向丝杠（4102）转动进而带动所述第二横向滑块（4103）移动的第二横向驱动电机（4104），所述二次横移架（4101）固定安装在所述第二横向滑块（4103）上。

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权利要求：

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