申请/专利权人：辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司

申请日：2024-01-17

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117567011B

主分类号：C03B25/00

分类号：C03B25/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2024.03.08#实质审查的生效;2024.02.20#公开

摘要：本发明公开了一种石英舟退火装置及其方法，涉及石英舟的退火技术领域，包括退火炉主体，所述转盘上设置有与电机输出端相连的等距夹连件，所述第二连接架上设置有与等距夹连件相连的自转旋位件。本发明通过设置等距夹连件、自转旋位件，电机运作使得拨位齿条进行上下往复移动，拨位齿条上下移动使得第二往复丝杆与第二连接轴进行有序转动，以此来使石英舟的顶部在一段时间内失去放置板的遮挡，当第二连接轴进行转动时转盘相对遮挡仓转动一百八十度，当第二往复丝杆再次进行转动时石英舟的底部在一段时间内失去放置板的遮挡，以此来防止石英舟的一处受到长时间遮挡而导致石英舟各个位置的温度不同，从而提高石英舟的退火效果。

主权项：1.一种石英舟退火装置，包括退火炉主体（1），其特征在于，所述退火炉主体（1）上设置有导向杆（2），所述导向杆（2）远离退火炉主体（1）的一端安装有遮挡仓（3），所述遮挡仓（3）靠近退火炉主体（1）的一端通过轴承转动连接有转盘（4），所述转盘（4）上设置有位于遮挡仓（3）内侧的第二连接架（508），所述转盘（4）上设置有位于第二连接架（508）上方的第三连接架（515），所述第三连接架（515）的底部安装有电机（529），所述转盘（4）上设置有与电机（529）输出端相连的等距夹连件，所述转盘（4）靠近退火炉主体（1）的一端滑动连接有多个第二滑块（523），多个第二滑块（523）沿着转盘（4）的竖向中轴线等距离分布，所述电机（529）的输出端通过等距夹连件与第二滑块（523）相连，所述第二滑块（523）靠近退火炉主体（1）的一侧固定有定位连块（509），所述定位连块（509）上设置有锁位件，所述定位连块（509）通过锁位件连接有放置板（506），所述放置板（506）上开设有防滑垫（505），所述第二连接架（508）上设置有与等距夹连件相连的自转旋位件；所述等距夹连件包括有与转盘（4）滑动连接且位于第二滑块（523）两侧的T型活动块（501），所述T型活动块（501）的内侧安装有限位杆（502），所述限位杆（502）上套设有第一滑块（504），所述第一滑块（504）的一端设置有与第二滑块（523）相连的铰接连杆（527），所述第二连接架（508）的内侧通过轴承转动连接有第二往复丝杆（517），T型活动块（501）的一端套设于第二往复丝杆（517）上，所述第二往复丝杆（517）的一端通过轴承转动连接有第三连接轴（526），所述第三连接轴（526）上安装有两个第一棘轮（524），两个第一棘轮（524）沿着第三连接轴（526）的竖向中轴线对称设置，所述第三连接轴（526）上安装有位于两个第一棘轮（524）之间的第二传动直齿轮（525），所述第二往复丝杆（517）的一端转动连接有与第一棘轮（524）相啮合的第一棘爪（528），所述转盘（4）上滑动连接有位于第二连接架（508）内侧且与第二传动直齿轮（525）相啮合的拨位齿条（511），所述电机（529）的输出端连接有第一卡接齿轮（530），所述电机（529）上通过轴承转动连接有位于电机（529）一侧的第一往复丝杆（516），所述第一往复丝杆（516）的顶端连接有与第一卡接齿轮（530）相啮合的第二卡接齿轮（531），拨位齿条（511）套设于第一往复丝杆（516）上；所述自转旋位件包括有转动连接于第二连接架（508）内侧且与第二往复丝杆（517）并排设置的第二连接轴（520），所述第二连接轴（520）的一端设置有位于第二连接架（508）外侧的第二传动锥齿轮（521），所述转盘（4）上设置有位于第二连接架（508）两侧的第一连接架（507），所述第一连接架（507）上设置有蜗杆（522），所述蜗杆（522）的一端设置有与第二传动锥齿轮（521）相啮合的第一传动锥齿轮（503），所述转盘（4）上设置有位于第一连接架（507）远离第二连接架（508）一侧的支撑转轴（513），所述支撑转轴（513）的顶端安装有与蜗杆（522）相啮合的蜗轮（512），所述支撑转轴（513）上安装有旋转直齿轮（514），所述遮挡仓（3）的内壁安装有与旋转直齿轮（514）相啮合的直齿轮环（510），所述第二连接轴（520）远离第二传动锥齿轮（521）的一端通过轴承转动连接有第一连接轴（518），所述第一连接轴（518）上设置有两个第二棘轮（539），两个第二棘轮（539）沿着第一连接轴（518）的竖向中轴线对称设置，所述第一连接轴（518）上设置有位于两个第二棘轮（539）之间的第一传动直齿轮（519），所述第二连接架（508）的内侧通过转轴转动连接有位于第一传动直齿轮（519）、第二传动直齿轮（525）之间的过渡齿轮（541），所述第二连接轴（520）远离第二传动锥齿轮（521）的一端转动连接有与第二棘轮（539）相啮合的第二棘爪（540）；所述锁位件包括有固定于第二滑块（523）一端的定位连块（509），所述定位连块（509）内插接有T型锁位杆（534），放置板（506）安装于T型锁位杆（534）远离第二滑块（523）的一侧，所述T型锁位杆（534）上开设有两个螺纹插孔（538），两个螺纹插孔（538）沿着T型锁位杆（534）的竖向中轴线对称设置，所述T型锁位杆（534）上开设有位于两个螺纹插孔（538）之间的卡孔（537），定位连块（509）的顶部插接有延伸至卡孔（537）内侧的卡销（536），所述卡销（536）的顶端设置有连板（535），所述连板（535）的底部设置有与定位连块（509）相连的复位弹簧（532），所述定位连块（509）上设置有延伸至螺纹插孔（538）内的定位螺栓（533）。

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