申请/专利权人：深圳新益昌科技股份有限公司

申请日：2023-08-08

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220651980U

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本申请提供了一种固晶设备，包括：机台；上料机构，上料机构安装于机台上；搬运机构，包括转移头、用于驱动转移头升降的第一驱动器和用于驱动第一驱动器沿机台的长度方向移动的第二驱动器，转移头上设有用于分别粘取晶粒的多个吸附位，第一驱动器的动力输出端与转移头相连，第二驱动器的动力输出端与第一驱动器相连，第二驱动器安装于机台上；以及，固晶台，固晶台安装于机台上。本申请提供的固晶设备，转移头能够同时吸取晶圆上的多个晶粒，实现多个晶粒的同步移动，以便于将多个晶粒装配到基板上对应的固晶位置，大幅减小固晶作业重复次数，提高固晶效率，提升生产效率。

主权项：1.一种固晶设备，其特征在于，包括：机台10；上料机构20，用于承载具有晶粒阵列的晶圆，所述上料机构20安装于所述机台10上；搬运机构30，包括转移头31、用于驱动所述转移头31升降的第一驱动器32和用于驱动所述第一驱动器32沿所述机台10的长度方向X移动的第二驱动器33，所述转移头31上设有用于分别粘取所述晶粒的多个吸附位3120，所述第一驱动器32的动力输出端与所述转移头31相连，所述第二驱动器33的动力输出端与所述第一驱动器32相连，所述第二驱动器33安装于所述机台10上；以及，固晶台40，用于夹持待装配所述晶粒的基板，所述固晶台40安装于所述机台10上。

全文数据：

权利要求：

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