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【发明公布】像元结构及CMOS图像传感器_上海集成电路研发中心有限公司_202311781641.0 

申请/专利权人:上海集成电路研发中心有限公司

申请日:2023-12-22

公开(公告)日:2024-03-26

公开(公告)号:CN117766555A

主分类号:H01L27/146

分类号:H01L27/146

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.12#实质审查的生效;2024.03.26#公开

摘要:本发明提供一种像元结构及CMOS图像传感器,所述像元结构包括P型衬底及钳位光电二极管,钳位光电二极管包括:环形隔离单元;P型钳位层;至少两个N型埋层,且沿远离传输管的方向排列;至少两个P型埋层,同层设于相邻N型埋层的交界面的两端且位于N型埋层中;距传输管较远的N型埋层的掺杂浓度小于或等于距传输管较近的N型埋层的掺杂浓度;和或,距传输管较远的P型埋层的掺杂浓度大于或等于距传输管较近的P型埋层的掺杂浓度;和或,距传输管较远的P型埋层的横截面面积大于或等于距传输管较近的P型埋层的的横截面面积。本发明中,通过设置N型埋层和P型埋层的位置、面积及掺杂浓度,以提高像元结构的成像质量。

主权项:1.一种像元结构,用于与传输管连接,其特征在于,所述像元结构包括P型衬底及形成于所述P型衬底中且与所述传输管连接的钳位光电二极管,所述钳位光电二极管包括:环形隔离单元,用于定义感光区;P型钳位层,位于所述感光区的表层;至少两个N型埋层,同层排布于所述感光区的P型钳位层下,且沿远离所述传输管的方向依次相接排列;至少两个P型埋层,同层设于相邻所述N型埋层的交界面的两端且位于所述N型埋层中;其中,距所述传输管较远的所述N型埋层的掺杂浓度小于或等于距所述传输管较近的所述N型埋层的掺杂浓度;和或,距所述传输管较远的所述P型埋层的掺杂浓度大于或等于距所述传输管较近的所述P型埋层的掺杂浓度;和或,距所述传输管较远的所述P型埋层的横截面图形面积大于或等于距所述传输管较近的所述P型埋层的的横截面图形面积。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 上海集成电路研发中心有限公司 像元结构及CMOS图像传感器

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