申请/专利权人:上海季丰电子股份有限公司
申请日:2023-12-27
公开(公告)日:2024-03-29
公开(公告)号:CN117790350A
主分类号:H01L21/66
分类号:H01L21/66
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开
摘要:本发明提供一种后续可焊接的芯片背面的化学开封方法。所述化学开封方法包括以下步骤:通过确定芯片封装体中晶粒所在铜基底的位置,以确定需要开封的晶背目标区域,并对该目标区域进行记录;通过镭射处理去除所述晶背目标区域的框架表层的塑封料;使用铝箔胶带对芯片封装体进行整体包裹;通过切割去除包裹在所述目标区域的铝箔胶带,得到待腐蚀样品;通过化学法对待腐蚀样品依次进行去除铜基底、去除铝箔胶带、去除贴片胶,得到后续可焊接的芯片。本发明采用化学开封晶背的技术,有效保护封装主体框架的完整及芯片引脚,解决背开后无法焊接到PCB板上的热点定位分析难题。
主权项:1.一种后续可焊接的芯片背面的化学开封方法,其特征在于,所述化学开封方法包括以下步骤:通过确定芯片封装体中晶粒所在铜基底的位置,以确定需要开封的晶背目标区域,并对该目标区域进行记录;通过镭射处理去除所述晶背目标区域的框架表层的塑封料;使用铝箔胶带对芯片封装体进行整体包裹;通过切割去除包裹在所述目标区域的铝箔胶带,得到待腐蚀样品;通过化学法对待腐蚀样品依次进行去除铜基底、去除铝箔胶带、去除贴片胶,得到后续可焊接的芯片。
全文数据:
权利要求:
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