申请/专利权人：青岛芯笙微纳电子科技有限公司

申请日：2024-02-01

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117800283A

主分类号：B81C1/00

分类号：B81C1/00;G01F1/684;B81B7/02;B81B7/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明公开了一种MEMS流量传感器的制作方法及由此得到的流量传感器，制作方法包括如下步骤：提供一衬底，于衬底上形成牺牲层，并在牺牲层上刻蚀出窗口；在衬底上形成具有圆弧形截面的内腔，随后去除牺牲层；于衬底及内腔的上表面形成支撑层，并在支撑层表面形成加热元件和感温元件；形成至少覆盖加热元件和感温元件的绝缘层，并在绝缘层上刻蚀出窗口；在衬底上形成隔热腔体，内腔位于隔热腔体的上方。通过本发明制作方法得到的流量传感器，不仅具有体积小、响应快、稳定性高等优点，还利用内腔结构，选择性地增大区域热阻，有利于减少该区域热量散失，提高整体热利用效率，可在不增大传感器尺寸或提高传感器功耗的前提下，有效提高其灵敏度。

主权项：1.一种MEMS流量传感器的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：提供一衬底，于所述衬底上形成牺牲层，并在所述牺牲层上刻蚀出窗口；通过牺牲层上的窗口对所述衬底进行各向同性腐蚀，以在所述衬底上形成具有圆弧形截面的内腔，随后去除所述牺牲层；于所述衬底及所述内腔的上表面形成支撑层，并在所述支撑层表面形成加热元件和感温元件，至少部分所述加热元件和所述感温元件形成在所述内腔的上方；形成至少覆盖所述加热元件和感温元件的绝缘层，并在所述绝缘层上刻蚀出窗口；在所述衬底上形成隔热腔体，所述内腔位于所述隔热腔体的上方。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 青岛芯笙微纳电子科技有限公司 一种MEMS流量传感器的制作方法及由此得到的流量传感器

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