申请/专利权人：芝浦机械电子装置株式会社

申请日：2023-09-27

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117802470A

主分类号：C23C14/50

分类号：C23C14/50;C23C14/56;C23C14/34

优先权：["20220930 JP 2022-158242","20230906 JP 2023-144733"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明提供一种能够一并保持或释放多个工件的卡盘机构及成膜装置。实施方式的卡盘机构具有：第一转动部，具有从轴部呈放射状延伸的多根第一臂，并具有设置于第一臂的前端且与工件的外缘接触分离的第一保持部；第二转动部，设置成能够与第一转动部同轴转动，具有从轴部呈放射状延伸的多根第二臂，第一臂与第二臂成为一对组，所述第二转动部具有设置于第二臂的前端且与工件的外缘接触分离的第二保持部；及驱动部，使第一转动部及第二转动部同步转动，并使一对第一保持部及第二保持部的各组在保持工件的保持位置与释放工件的释放位置之间同时移动，由此一并保持或释放多个工件。

主权项：1.一种卡盘机构，其特征在于，包括：第一转动部，设置成能够以轴部为中心转动，具有从所述轴部呈放射状延伸的多根第一臂，并具有设置于所述第一臂各自的前端且与工件的外缘接触分离的第一保持部；第二转动部，设置成能够与所述第一转动部同轴转动，具有从所述轴部呈放射状延伸的多根第二臂，并具有设置于所述第二臂各自的前端且与所述工件的外缘接触分离的第二保持部；以及驱动部，所述多根第一臂的各个与所述多根第二臂的各个成为一对组，使所述第一转动部及所述第二转动部同步转动，并使一对所述第一保持部及所述第二保持部的组在保持所述工件的保持位置与释放所述工件的释放位置之间同时移动，由此一并保持或释放多个所述工件。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 芝浦机械电子装置株式会社 卡盘机构及成膜装置

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