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【发明公布】一种发光二极管的外延片及其制备方法_江西兆驰半导体有限公司_202311844131.3 

申请/专利权人:江西兆驰半导体有限公司

申请日:2023-12-29

公开(公告)日:2024-04-02

公开(公告)号:CN117810327A

主分类号:H01L33/12

分类号:H01L33/12;H01L33/00

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要:本发明公开了一种发光二极管的外延片及其制备方法,外延片包括衬底,还包括在所述衬底上依次层叠设置的复合缓冲层、非掺杂GaN层、N型GaN层、多量子阱层、电子阻挡层、P型GaN层,其中,所述复合缓冲层包括生长于所述衬底上的SiC层、石墨烯层和三维AlInGaN成核层。实施本发明,能够降低外延层位错密度,释放衬底与GaN外延层的应力,提高GaN外延层晶体质量,进而提高发光二极管发光效率。

主权项:1.一种发光二极管的外延片,包括衬底,其特征在于,还包括在所述衬底上依次层叠设置的复合缓冲层、非掺杂GaN层、N型GaN层、多量子阱层、电子阻挡层、P型GaN层,其中,所述复合缓冲层包括生长于所述衬底上的SiC层、石墨烯层和三维AlInGaN成核层。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 江西兆驰半导体有限公司 一种发光二极管的外延片及其制备方法

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