申请/专利权人:中国电子科技集团公司第二十六研究所
申请日:2024-01-22
公开(公告)日:2024-04-02
公开(公告)号:CN117802570A
主分类号:C30B15/06
分类号:C30B15/06;C30B15/14;C30B15/20
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开
摘要:本发明公开了一种温场梯度可调的用于生长板条状晶体的装置,包括炉膛,炉膛内沿水平方向设置有条形坩埚,炉膛内还设置有用于对条形坩埚进行支撑的坩埚支架,条形坩埚的外围设置有沿条形坩埚长度方向依次排列且绕条形坩埚环设的加热装置,加热装置能够各自对其加热温度进行控制,所有的加热装置排列后的长度大于条形坩埚的长度,炉膛对应条形坩埚其中一端的位置设置有炉膛口,炉膛口处盖设有炉门。本发明还公开了一种利用上述装置进行生长板条状晶体的方法,通过控制多组加热装置调节温场梯度,实现了温场梯度按照相应方向和速率移动,提高了板条状晶体生长质量。
主权项:1.一种温场梯度可调的用于生长板条状晶体的装置,包括炉膛,其特征在于:炉膛内沿水平方向设置有条形坩埚,炉膛内还设置有用于对条形坩埚进行支撑的坩埚支架,条形坩埚的外围设置有沿条形坩埚长度方向依次排列且绕条形坩埚环设的加热装置,加热装置能够各自对其加热温度进行控制,所有的加热装置排列后的长度大于条形坩埚的长度,炉膛对应条形坩埚其中一端的位置设置有炉膛口,炉膛口处盖设有炉门。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 中国电子科技集团公司第二十六研究所 温场梯度可调的用于生长板条状晶体的装置及方法
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