申请/专利权人：广东美的白色家电技术创新中心有限公司;美的集团股份有限公司

申请日：2019-08-05

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN112331715B

主分类号：H01L29/739

分类号：H01L29/739;H01L29/06;H01L21/331

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2021.02.26#实质审查的生效;2021.02.05#公开

摘要：本发明实施例公开一种绝缘栅双极型晶体管及其制作方法，所述绝缘栅双极型晶体管包括：均位于同一预定平面内的发射极区、体区、漂移区和集电极区；所述体区，位于发射极区与漂移区之间，且与发射极区及漂移区接触；所述漂移区，位于体区与集电极区之间，且与集电极区接触；至少一个抑制单元，位于漂移区中，包括开口朝向所述发射极区的凹面，用于抑制注入漂移区中的至少部分载流子向集电极区运动；其中，所述载流子从发射极区注入漂移区，被抑制的所述载流子聚集在抑制单元表面。

主权项：1.一种绝缘栅双极型晶体管，其特征在于，包括：均位于同一预定平面内的发射极区、体区、漂移区和集电极区；所述体区，位于所述发射极区与所述漂移区之间，且与所述发射极区及所述漂移区接触；所述漂移区，位于所述体区与所述集电极区之间，且与所述集电极区接触；至少一个抑制单元，位于所述漂移区中，包括开口朝向所述发射极区的凹面，用于抑制注入漂移区中的至少部分载流子向所述集电极区运动；其中，所述载流子从所述发射极区注入所述漂移区，被抑制的所述载流子聚集在所述抑制单元表面；所述抑制单元，包括位于所述漂移区中的凹槽及填充在所述凹槽内的绝缘介质。

全文数据：

权利要求：

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