申请/专利权人：南京航空航天大学

申请日：2023-07-17

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN116893585B

主分类号：G03F9/00

分类号：G03F9/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2023.11.03#实质审查的生效;2023.10.17#公开

摘要：本申请公开了一种基于莫尔条纹放大的高精度对准装置，涉及光刻对准技术领域，该装置中光源发出的平行光照射固定光栅衍射出第一条纹对、照射掩膜光栅衍射出第二条纹对与固定光栅相互交叉并形成预定交叉角度，两组条纹对交织形成菱形块结构，利用该装置，在通过待对准设备带动掩膜光栅沿着预定方向移动的过程中，通过相机获取待处理图像并识别得到衍射出的菱形块结构的实时质心坐标，直至实时质心坐标达到目标质心坐标时确定完成对待对准设备的对准。利用莫尔条纹放大现象在高倍镜头配合下产生高精度的位移对准效果，该放大效果不受外界设备水平程度影响、不受光栅真实尺寸影响，可以实现高精度对准。

主权项：1.一种基于莫尔条纹放大的高精度对准装置，其特征在于，所述高精度对准装置包括控制平台、相机、光源和光栅尺组合，所述控制平台连接并控制所述相机；所述光栅尺组合包括固定光栅和掩膜光栅，所述固定光栅的位置固定，所述掩膜光栅搭载在待对准设备上，所述待对准设备带动所述掩膜光栅在水平面上沿着预定方向移动；所述光源发出的平行光照射所述固定光栅衍射出第一条纹对并照射到所述相机的感光面上，所述光源发出的平行光照射所述掩膜光栅衍射出第二条纹对并照射到所述相机的感光面上，所述掩膜光栅与所述固定光栅相互交叉并形成预定交叉角度以使得衍射出的第一条纹对和第二条纹对交织形成菱形块结构；所述控制平台实现的方法包括：在通过所述待对准设备带动所述掩膜光栅沿着预定方向移动的过程中，通过所述相机获取待处理图像，从所述待处理图像中识别得到所述光栅尺组合衍射出的菱形块结构并确定所述菱形块结构的实时质心坐标，直至所述实时质心坐标达到目标质心坐标时确定对所述待对准设备完成对准；其中，当所述待对准设备带动所述掩膜光栅沿着预定方向移动的过程中，所述固定光栅衍射出的第一条纹对保持不变，所述掩膜光栅衍射出的第二条纹对同步平移。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京航空航天大学 一种基于莫尔条纹放大的高精度对准装置

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