申请/专利权人：深圳市雕拓科技有限公司

申请日：2023-08-25

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220709539U

主分类号：G03F7/00

分类号：G03F7/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本实用新型涉及纳米压印技术领域，且公开了一种纳米压印装置，包括工作台，工作台的顶部设置有减震座，减震座的顶部设置有支架，通过减震座减小支架与工作台之间的震动，支架的正面活动安装有活动面板，支架的外部与工作台顶部之间设置有电磁升降压辊机构，活动面板的背部与支架之间设置有软模板张紧机构，支架的内部设置有辅助单元。该纳米压印装置，通过设置的软模板张紧机构，在使用过程中，通过可以调节两个卷模辊的高度，进而调节软模片与基片之间的角度，使得在压印过程中，不会形成气泡，以及在进行脱模时，不会损伤定型的凹凸微结构图案，同时还能根据使用频次对压印段次进行调整，减少频繁更换模板带来的麻烦。

主权项：1.一种纳米压印装置，包括工作台1，其特征在于：所述工作台1的顶部设置有减震座2，所述减震座2的顶部设置有支架3，所述支架3的正面活动安装有活动面板4，所述支架3的外部与工作台1顶部之间设置有电磁升降压辊机构5，所述活动面板4的背部与支架3之间设置有软模板张紧机构6，所述支架3的内部设置有辅助单元7；所述电磁升降压辊机构5包括往返组件51与压辊组件52，所述压辊组件52设置在往返组件51的内侧。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市雕拓科技有限公司 一种纳米压印装置

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