申请/专利权人：百腾科技(苏州)有限公司

申请日：2023-08-10

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220703789U

主分类号：C23C16/44

分类号：C23C16/44

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本实用新型公开了一种parylene热解CVD的粉材盒，包括粉槽、扩散板、控温装置以及封板，所述粉槽内装有前驱体即镀膜粉材，粉槽上部设置有开口，开口处装有扩散板，所述扩散板上阵列设置有能够阻挡异物颗粒的过滤孔，所述粉槽内预埋能够加热的控温装置，所述粉槽的开口处配置有封板，所述粉槽的一端开设有抽气口，抽气口能够外接负压设备，所述粉槽的另一端开设有放气口。通过上述方式，本实用新型结构简单，设计巧妙，可以让前驱体在粉材盒内保持真空状态，能够保证粉材盒内镀膜粉材干燥，能够过滤颗粒杂质，保证镀膜过程中的洁净程度。

主权项：1.一种parylene热解CVD的粉材盒，其特征在于：该种parylene热解CVD的粉材盒包括粉槽、扩散板、控温装置以及封板，所述粉槽内装有前驱体即镀膜粉材，粉槽上部设置有开口，开口处装有扩散板，所述扩散板上阵列设置有能够阻挡异物颗粒的过滤孔，所述粉槽内预埋能够加热的控温装置，所述粉槽的开口处配置有封板，所述粉槽的一端开设有抽气口，抽气口能够外接负压设备，所述粉槽的另一端开设有放气口。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 百腾科技(苏州)有限公司 一种parylene热解CVD的粉材盒

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