申请/专利权人：上海三朗纳米技术有限公司

申请日：2023-09-04

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220788776U

主分类号：C23C16/44

分类号：C23C16/44;C23C16/26

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型提供一种方形CVD镀膜机，包括腔体，腔体后面设有真空规、薄膜规和阀门装置，阀门装置与进气口连接且进气口设置于腔体的上面，腔体设计有抽真空装置，方腔的底部设有波纹管，波纹管连接有直联泵，波纹管上设于气动挡板阀，腔体上方还设计有进水口与出水口，进水口与出水口通过管道相连。本装置采用方形腔体设有抽真空装置，根据实际生产需要，需要对设备有抽真空效果，以及需要对设备进行恒温控制，避免由于设备的长时间运转导致对设备造成的损坏，满足实际生产需求以及对设备形成保护作用。

主权项：1.一种方形CVD镀膜机，包括腔体（1），其特征在于，所述腔体（1）后面设有真空规（2）、薄膜规（3）和阀门装置（4），所述阀门装置（4）与进气口（10）连接且进气口（10）设置于腔体（1）的上面，所述腔体（1）设计有抽真空装置，所述腔体（1）的底部设有波纹管（5），所述波纹管（5）连接有直联泵（6），所述波纹管（5）上设于气动挡板阀（7），所述腔体（1）上面还设计有出水口（9），所述腔体（1）的下面设有进水口（8），所述进水口（8）与出水口（9）通过管道相连。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海三朗纳米技术有限公司 一种方形CVD镀膜机

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