申请/专利权人：河南省惠丰金刚石有限公司

申请日：2023-09-25

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220783540U

主分类号：B24C3/02

分类号：B24C3/02;B08B9/093;B24C7/00;B24C9/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型涉及一种CVD多晶专用去除装置，包括喷射箱、空气管路和液体管路，喷射箱内底部呈倒锥形构成聚集池，喷射箱顶部设置有排气扇和控制盒，喷射箱顶部还抽拉连接有透明观察窗，喷射箱一侧设置操作孔，操作孔连接有橡胶手套；喷射箱上设置空气管路，空气管路包括电磁阀、调压阀、上风管和下风管，电磁阀后并联有两个调压阀，两个调压阀分别连通上风管和下风管，上风管出口竖直朝向聚集池，下风管出口连通聚集池底部；喷射箱上还设置有液体管路，液体管路包括分别连通聚集池的进水管、溢水管和换料管以及混合管，混合管连通聚集池底部和上风管。本实用新型可方便磨料的收集，也能实现磨料的循环利用，减少磨料损耗。

主权项：1.一种CVD多晶专用去除装置，其特征在于，包括喷射箱（1）、空气管路和液体管路，所述喷射箱（1）内底部呈倒锥形构成聚集池（2），喷射箱（1）顶部设置有排气扇（3）和控制盒（4），喷射箱（1）顶部还抽拉连接有透明观察窗（7），喷射箱（1）一侧设置操作孔（9），操作孔（9）延伸至喷射箱（1）内连接有橡胶手套（10）；所述喷射箱（1）上设置所述空气管路，空气管路包括电磁阀（11）、调压阀（12）、上风管（13）和下风管（14），所述控制盒（4）与排气扇（3）、电磁阀（11）电连接，所述电磁阀（11）后并联有两个所述调压阀（12），两个调压阀（12）分别连通所述上风管（13）和下风管（14），上风管（13）出口竖直朝向聚集池（2）、且和聚集池（2）存在间距，所述下风管（14）出口连通聚集池（2）底部；所述喷射箱（1）上还设置有液体管路，所述液体管路包括分别连通聚集池（2）的进水管（15）、溢水管（16）和换料管（17）以及混合管（18），所述进水管（15）上自带有阀门，所述溢水管（16）和换料管（17）进口均设置有橡胶塞，所述混合管（18）连通聚集池（2）底部和上风管（13）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 河南省惠丰金刚石有限公司 一种CVD多晶专用去除装置

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