申请/专利权人:上海宏端精密机械有限公司
申请日:2023-09-21
公开(公告)日:2024-04-16
公开(公告)号:CN220788781U
主分类号:C23C16/46
分类号:C23C16/46
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.16#授权
摘要:一种CVD真空镀膜加热板,包括本体;所述本体上的一侧开设有第一加热槽、第二加热槽、第三加热槽和第四加热槽,所述本体的区域内还设置有用于固定加热器法兰的安装区,所述第一加热槽、第二加热槽、第三加热槽和第四加热槽的首尾段均位于安装区内;所述第一加热槽、第二加热槽、第三加热槽和第四加热槽的形状为各不相同的弯曲状结构;所述第一加热槽、第二加热槽、第三加热槽和第四加热槽各自的内部分别形成第一内加热区、第二内加热区、第一外加热区和第二外加热区。本实用新型具有改进加热器分区及排布结构的优点。
主权项:1.一种CVD真空镀膜加热板,包括本体1,其特征在于:所述本体1上的一侧开设有第一加热槽11、第二加热槽12、第三加热槽13和第四加热槽14,所述本体1的区域内还设置有用于固定加热器法兰的安装区2,所述第一加热槽11、第二加热槽12、第三加热槽13和第四加热槽14的首尾段均位于安装区2内。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 上海宏端精密机械有限公司 一种CVD真空镀膜加热板
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