申请/专利权人：安徽旭合新能源科技有限公司

申请日：2023-09-22

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220767157U

主分类号：C23C16/44

分类号：C23C16/44;C23C16/505

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：本实用新型公开了一种CVD镀膜炉管，包括：炉管，其外层涂设有金属涂层；清除机构，其包括同轴设置于所述炉管内的螺旋导线，所述螺旋导线两端电性连接射频电源，以与所述金属涂层产生交变电场。该实用新型提供的CVD镀膜炉管，开启射频电源时，螺旋导线和炉管外层的金属涂层产生交变的电场，在交变电场作用下，通入的NF3、SF6或者CCl4等反应刻蚀气体，此时离化形成等离子体，因为离子化的反应气体具有很高的反应活性，在轰击炉管内壁介质薄膜的同时还会与其反应将其刻蚀掉，能定期清除炉管内壁的介质薄膜，大幅延长镀膜炉管的使用寿命，降低太阳能电池的制造成本。

主权项：1.一种CVD镀膜炉管，其特征在于，包括：炉管1，其外层涂设有金属涂层21；清除机构2，其包括同轴设置于所述炉管1内的螺旋导线22，所述螺旋导线22两端电性连接射频电源，以与所述金属涂层21产生交变电场。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安徽旭合新能源科技有限公司 一种CVD镀膜炉管

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