申请/专利权人：上海汉虹精密机械有限公司

申请日：2023-12-25

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117845319A

主分类号：C30B15/00

分类号：C30B15/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明提供一种用于单晶硅生长炉的电极升降机构，包括升降机构，升降机构包括固定在单晶硅生长炉炉底盘和机架上的四根导向柱，四根导向柱上分别连接有可滑动的直线轴承，四根导向柱中间设置有基板，基板通过直线轴承沿着导向柱上下运动，导向柱位于基板的四个角部；基板的左前侧、右后侧分别安装有第一主电极和第二主电极，基板的右前侧和左后侧分别安装有第一辅支撑和第二辅支撑，第一主电极、第二主电极、第一辅支撑和第二辅支撑的外部均安装有焊接波纹管，焊接波纹管的顶端均和炉底盘进行连接，焊接波纹管的底端均和基板进行连接。使得热场的加热器可以跟随坩埚的位置改变而改变，使热场受热温度更均匀，有利于晶体生长，提高产品质量。

主权项：1.一种用于单晶硅生长炉的电极升降机构，包括升降机构，其特征在于，所述升降机构包括固定在单晶硅生长炉炉底盘和机架上的四根导向柱，所述四根导向柱上分别连接有可滑动的直线轴承，所述四根导向柱中间设置有基板，所述基板通过所述直线轴承沿着导向柱上下运动，所述导向柱位于所述基板的四个角部；所述基板的左前侧、右后侧分别安装有第一主电极和第二主电极，所述基板的右前侧和左后侧分别安装有第一辅支撑和第二辅支撑，所述第一主电极、第二主电极、第一辅支撑和第二辅支撑的外部均安装有焊接波纹管，所述焊接波纹管的顶端均和所述炉底盘进行连接，所述焊接波纹管的底端均和所述基板进行连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海汉虹精密机械有限公司 一种用于单晶硅生长炉的电极升降机构

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD