申请/专利权人：清华大学

申请日：2024-01-11

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117842927A

主分类号：B81C1/00

分类号：B81C1/00;B82Y40/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：提供了一种基于纳米探针的微纳三维结构制备方法，其包括以下步骤：S1：在衬底上设置牺牲层与热塑性聚合物层。S2：在所述热塑性聚合物层上沉积金属层，通过微加工工艺刻蚀所述金属层，以形成图案化的所述金属层，刻蚀所述热塑性聚合物层，并去除所述衬底上涂布的所述牺牲层，形成二维前驱体。S3：使用一个或多个纳米探针对所述二维前驱体施加载荷并移动所述纳米探针，带动所述二维前驱体的与所述纳米探针的针尖的接触的部分移动，使所述二维前驱体的结构发生变形，形成三维微纳结构。S4：加热所述三维微纳结构使其产生热塑性，实现所述三维微纳结构的固形。

主权项：1.一种基于纳米探针的微纳三维结构制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：在衬底10上设置牺牲层与热塑性聚合物层；S2：在所述热塑性聚合物层上沉积金属层，通过微加工工艺刻蚀所述金属层，以形成图案化的所述金属层，刻蚀所述热塑性聚合物层，并去除所述衬底10上涂布的所述牺牲层，形成二维前驱体20；S3：使用一个或多个纳米探针40对所述二维前驱体20施加载荷并移动所述纳米探针40，带动所述二维前驱体20的与所述纳米探针40的针尖的接触的部分移动，使所述二维前驱体20的结构发生变形，形成三维微纳结构30；S4：加热所述三维微纳结构30使其产生热塑性，实现所述三维微纳结构30的固形。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 清华大学 基于纳米探针的微纳三维结构制备方法

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