申请/专利权人：朗姆研究公司

申请日：2022-08-17

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117858748A

主分类号：B01D53/00

分类号：B01D53/00;C23C16/44

优先权：["20210823 US 63/236,014"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：气体分离器设备包括第一室和第一出口，第一室包括用于接收包括第一气体和第二气体的气体混合物的第一入口。第一和第二珀耳帖设备安装到第一室以将第一室冷却到第一温度。第二室连接到第一室并包括第二出口。第三和第四珀耳帖设备分别安装到第一和第二珀耳帖设备以及第二室以将第二室冷却到第二温度。珀耳帖设备被配置为冷凝第一室中的气体混合物中的第二气体并经由第一出口输出第一气体。珀耳帖设备被配置成将从第一室接收的冷凝的第二气体在第二室中转化为第二气体并且经由第二出口输出第二气体。

主权项：1.一种气体分离器设备，其包括：第一室，其包括用于接收包括第一气体和第二气体的气体混合物的第一入口，以及第一出口；第一和第二珀耳帖设备，其安装到所述第一室以将所述第一室冷却到第一温度；第二室，其连接至所述第一室并包括第二出口；以及第三和第四珀耳帖设备，其分别安装到所述第一和第二珀耳帖设备以及所述第二室，以将所述第二室冷却到高于所述第一温度的第二温度；其中所述第一、第二、第三和第四珀耳帖设备被配置为：将所述第一室内的所述气体混合物中的所述第二气体冷凝，并通过所述第一出口输出所述第一气体；以及将从所述第一室接收到的冷凝的第二气体在所述第二室中转化为所述第二气体，并通过所述第二出口输出所述第二气体。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 朗姆研究公司 共定位于衬底处理系统上的紧凑型气体分离器设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD