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【发明授权】一种全自动石英晶片清洗机_东晶电子金华有限公司_202310682216.X 

申请/专利权人:东晶电子金华有限公司

申请日:2023-06-09

公开(公告)日:2024-04-09

公开(公告)号:CN116705658B

主分类号:H01L21/67

分类号:H01L21/67;B08B3/12;B08B3/10;B08B13/00;B08B3/08

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.09#授权;2023.09.22#实质审查的生效;2023.09.05#公开

摘要:本发明公开了一种全自动石英晶片清洗机,涉及石英晶片清洗技术领域;而本发明包括移送机构,移送机构的顶端固定安装有安装支架,且安装支架上转动插接有第一转轴,第一转轴的末端固定连接有超声波清洗仪,且超声波清洗仪与安装支架转动连接,安装支架上设有与超声波清洗仪配合使用的晃动机构;通过移送机构的设置使用,为清洗机的便捷移动提供了便利,便于使用者进行操作,从而有效提高了清洗机的实用性,通过晃动机构的设置使用,能够带动第一转轴做循环往复转动,从而能够带动超声波清洗仪做循环往复转动,进而能够带动清洗液与水源进行晃动,从而能够有效提高清洗液与水源的混合效率与混合均匀性。

主权项:1.一种全自动石英晶片清洗机,包括移送机构1,其特征在于:所述移送机构1的顶端固定安装有安装支架2,且安装支架2上转动插接有第一转轴21,所述第一转轴21的末端固定连接有超声波清洗仪3,且超声波清洗仪3与安装支架2转动连接,所述安装支架2上设有与超声波清洗仪3配合使用的晃动机构4,且安装支架2的内侧底端设有与晃动机构4配合使用的驱动机构5,所述安装支架2与超声波清洗仪3上设有配合使用的搅动机构6,且安装支架2上设有与驱动机构5配合使用的震动机构7,所述安装支架2的顶端设有与超声波清洗仪3配合使用的升降机构8;所述安装支架2远离晃动机构4的一侧转动插接有第二转轴22,且第二转轴22靠近第一转轴21的一端与超声波清洗仪3固定连接;所述晃动机构4包括第一转杆41与第二转杆42,所述第一转杆41与第二转杆42均转动插设在安装支架2上,且第一转杆41上固定套接有第一齿轮43、第一半面齿轮44与第二齿轮45,所述第二转杆42上固定套设有第二半面齿轮46与第三齿轮47,且第三齿轮47与第二齿轮45相啮合,所述第一转轴21远离超声波清洗仪3的一端固定套接有第四齿轮48,且第四齿轮48能够与第一半面齿轮44以及第二半面齿轮46相啮合;所述驱动机构5包括驱动电机51与第三转杆52,所述驱动电机51固定安装在安装支架2的内侧底端,且驱动电机51输出端的末端固定套接有驱动齿轮53,所述第三转杆52转动插设在安装支架2上,且第三转杆52上固定套接有从动齿轮54,所述从动齿轮54与驱动齿轮53相啮合,且第三转杆52靠近从动齿轮54的一端固定套接有第五齿轮55,所述第五齿轮55与第一齿轮43相啮合,且第三转杆52的两端均固定套接有第一锥齿轮56;所述搅动机构6包括横向转杆61与弧形齿条62,所述横向转杆61转动插设在超声波清洗仪3上,且横向转杆61上固定套接有阵列分布的安装套环63,所述安装套环63的外壁上固定安装有搅动叶片64,且搅动叶片64呈阵列分布,所述横向转杆61的两端均固定套设有滚动齿轮65,所述弧形齿条62固定安装在安装支架2两侧的内壁上,且滚动齿轮65与弧形齿条62相啮合;所述震动机构7包括垂向转杆71,所述垂向转杆71转动插设在安装支架2的顶端两侧,且垂向转杆71的底端固定套设有第二锥齿轮72,所述第二锥齿轮72与第一锥齿轮56相啮合,且垂向转杆71远离第二锥齿轮72的一端固定套接有固定套环73,且固定套环73的外壁上一体成型有阵列分布的第一转板74,所述第一转板74远离固定套环73的一端固定连接有第一转环75,且相邻第一转环75上转动插接有第三转轴76,所述第三转轴76的中部转动套接有第二转环77,且第二转环77的两侧均固定安装有复位扭簧78,所述复位扭簧78活动套设在第三转轴76上,且复位扭簧78远离第二转环77的一端与第一转环75固定连接,所述第二转环77上固定连接有第二转板79,且第二转板79的末端固定连接有第三转环710,所述第三转环710上转动安装有对称设置的滚动轮711,所述安装支架2的两侧均贯穿开设有连接穿槽23,且滚动轮711能够活动贯穿连接穿槽23并与超声波清洗仪3相接触;所述升降机构8包括U型支架81,所述U型支架81与安装支架2固定连接,且U型支架81上固定插接有多级电动推杆82,所述多级电动推杆82输出端的末端固定连接有清洗篮83,且清洗篮83能够滑动插设在超声波清洗仪3内。

全文数据:

权利要求:

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