申请/专利权人：江苏汇成光电有限公司

申请日：2023-08-31

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220753381U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本实用新型公开了半导体集成电路领域内的一种可调节的防止INK笔刮伤晶圆表面的装置，包括安装在笔架前端的点墨笔，主支架上固定连接有水平的安装板，安装板向前伸出，安装板的前端设置有导向座，导向座上开设有竖直的滑槽，滑槽上活动连接有可升降的前杆，导向座上方设有升降调节座，前杆上固定有U形限位支架，限位支架包括底板，底板的左右两侧均设置有向上延伸的限位侧板，两块限位侧板分别对应升降调节座的左右两侧面设置，限位侧板上开设有竖直的腰型限位槽，升降调节座的左右两侧均设置有限位杆，两根限位杆分别向外延伸并穿过两个腰型限位槽设置。本实用新型能够调节点墨笔的高度位置，并防止点墨笔刮伤晶圆，降低生产成本。

主权项：1.一种可调节的防止INK笔刮伤晶圆表面的装置，包括安装在笔架前端的点墨笔，其特征在于，所述笔架包括主支架，主支架上固定连接有水平的安装板，安装板向前伸出，安装板的前端设置有导向座，导向座上开设有竖直的滑槽，滑槽上活动连接有可升降的前杆，所述前杆水平设置，前杆端部设有安装支架，所述导向座上方设有升降调节座，升降调节座上设置有驱动前杆升降的升降驱动机构，所述前杆上固定有U形限位支架，限位支架包括底板，底板的左右两侧均设置有向上延伸的限位侧板，两块限位侧板分别对应升降调节座的左右两侧面设置，限位侧板上开设有竖直的腰型限位槽，升降调节座的左右两侧均设置有限位杆，限位杆轴线与升降调节座宽度方向平行，两根限位杆分别向外延伸并穿过两个腰型限位槽设置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏汇成光电有限公司 一种可调节的防止INK笔刮伤晶圆表面的装置

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