申请/专利权人：苏州微光电子融合技术研究院有限公司

申请日：2023-12-22

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117832293A

主分类号：H01L31/0216

分类号：H01L31/0216;H01L31/0352;H01L31/09;H01L31/18

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要：本发明公开了一种光子晶体增强胶体量子点红外探测器，涉及红外探测器技术领域。该光子晶体增强胶体量子点红外探测器，通过引入光子晶体结构，可以对入射的红外光进行放大，增强了光与量子点的相互作用，从而提高了光响应度；另一方面，量子点嵌套在光子晶体中，与衬底的接触更加紧密，可提高其使用过程中的高稳定性。

主权项：1.一种光子晶体增强胶体量子点红外探测器，其特征在于，包括以下步骤：S1：准备材料，选择合适的衬底1；S2：制作底电极2，在上述步骤S1中衬底1的表面通过溅射或者电子束蒸发制作底电极2，底电极2为双层结构，底层为钛金属，顶层为金；S3：制备介质层3，在上述底电极2的表层通过溅射的方式制备介质层3；S4：刻蚀，在介质层3上，通过光刻或者ICP刻蚀的方式，将介质层3刻蚀成光子晶体4；S5：旋涂红外胶体量子点5，在刻蚀完成的光子晶体4表面均匀旋涂红外胶体量子点5，使得红外胶体量子点5填满光子晶体4的缝隙；S6：制作顶电极6，通过溅射的方式制备ITO顶电极，最后完成器件的整体制备过程。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州微光电子融合技术研究院有限公司 一种光子晶体增强胶体量子点红外探测器

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