申请/专利权人：山东大学

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117822105A

主分类号：C30B25/14

分类号：C30B25/14;C30B29/40;B08B5/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要：本发明属于晶体生长装置领域，提供了一种减少氮化镓孔洞产生的装置及方法，包括进气管、出气管、吹扫管和籽晶区，所述出气管的下方设置籽晶区；所述进气管包括第一进气管和第二进气管，所述出气管为内外双壁结构，包括套装的内外套管，外套管套装在内套管外，所述第一进气管连通所述外套管，所述第二进气管连通所述内套管；所述吹扫管包括第一吹扫管和第二吹扫管，第一吹扫管的末端朝向籽晶区，第二吹扫管的末端朝向出气管末端，所述第一吹扫管的长度可调。本方案可以有效解决现有技术生长氮化镓产生较多的孔洞的问题，极大的提高了制备氮化镓的晶体质量。

主权项：1.一种减少氮化镓孔洞产生的装置，其特征在于：包括进气管、出气管、吹扫管和籽晶区，所述出气管的下方设置籽晶区；所述进气管包括第一进气管1和第二进气管2，所述出气管为内外双壁结构，包括套装的内外套管，外套管4套装在内套管3外，所述第一进气管1连通所述外套管4，所述第二进气管2连通所述内套管3；所述吹扫管包括第一吹扫管5和第二吹扫管6，第一吹扫管5的末端朝向籽晶区，第二吹扫管6的末端朝向出气管末端，所述第一吹扫管5的长度可调。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 山东大学 一种减少氮化镓孔洞产生的装置及方法

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