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【发明公布】一种PIN型光敏元件及其制造方法、光敏探测器_天津三安光电有限公司_202311785035.6 

申请/专利权人:天津三安光电有限公司

申请日:2023-12-22

公开(公告)日:2024-04-05

公开(公告)号:CN117832314A

主分类号:H01L31/105

分类号:H01L31/105;H01L31/0352;H01L31/18;G01J1/42

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要:本申请提供一种PIN型光敏元件及其制造方法及光敏探测器,本申请的PIN型光敏元件取消截止环结构,由此使得P型区在衬底表面的面积占比增加,由此可以增加光敏元件的光敏面积。由此可以提高光敏元件的光电流。另外,省去截止环结构,可以节省光敏元件的制作工序,也能够避免因衬底正面的P和B同时扩散形成的横向扩散导致的横向击穿漏电,提高器件的良率。因为本申请的光敏元件不存在上述因P和B同时扩散导致的横向击穿,因此可将背面的磷扩散加深,即将N型区加深,从而提高光敏二极管的暗电流的温漂性能。

主权项:1.一种PIN型光敏元件,其特征在于,至少包括:衬底,所述衬底具有相对设置的正面及背面;P型区,形成在所述衬底的正面,所述P型区的上表面与所述衬底的上表面位于同一平面,并且所述P型区在所述衬底正面的投影面积占所述P型区所在的光敏元件在所述衬底正面的投影面积的比介于0.8~0.95;N型区,形成在所述衬底的背面,所述N型区的表面与所述衬底的背面位于同一平面。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 天津三安光电有限公司 一种PIN型光敏元件及其制造方法、光敏探测器

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