申请/专利权人：烟台舜康生物科技有限公司

申请日：2024-03-05

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117826532A

主分类号：G03F7/004

分类号：G03F7/004

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要：本发明涉及光刻胶制备技术领域，具体关于无光引发剂的光刻胶的制备方法；本发明制备的光刻胶，具有分子结构明确、分子量单分散和分子尺寸均一等特点，甲基二乙氧基硅烷中的硅‑氢键首先与反‑1,1,4,4‑四甲氧基‑2‑丁烯的双键加成，形成一个新的碳‑碳键，同时生成一个硅醇基团；这个硅醇基团再与叠氮基聚乙二醇丙烯酸酯反应，生成含二乙氧基的交联剂；叠氮基的氮原子具有很强的正电性，可以与硅醇基团中的氧原子形成配位键；这个配位键可以促进硅醇基团与另一个叠氮基的反应，从而形成碳‑氮键，生成含叠氮基的缩水甘油醚交联剂；能够形成稳定的碳‑碳键和碳‑氮键，增加光刻胶的交联程度和稳定性。

主权项：1.无光引发剂的光刻胶的制备方法，其特征在于：其操作步骤为：按照重量份，称取10-15份四氟硼酸双［2′,3,3″,4,4″-五羟基-（1,1′,3′,1″-三联苯基）-5′-基］甲基硫鎓盐、5-10份聚烷撑乙二醇、1-3份叠氮基聚乙二醇交联剂、50-70份溶剂，搅拌混合，得到无光引发剂的光刻胶。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 烟台舜康生物科技有限公司 无光引发剂的光刻胶的制备方法

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