申请/专利权人：海伯森技术(深圳)有限公司

申请日：2023-07-14

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117029717B

主分类号：G01B11/24

分类号：G01B11/24;G01J3/28

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.05#授权;2023.11.28#实质审查的生效;2023.11.10#公开

摘要：本发明提供一种工件形貌检测装置。该工件形貌检测装置包括：光源部，用于形成具有不同波长的初始光束；分光器，用于接收初始光束中多种不同波长的子光束；色散物镜，用于将不同波长的子光束向色散物镜的光轴的不同位置聚焦而形成不同的测量光束；测量光束能够照射在待测工件的表面；共焦光谱探测部，用于接收被待测工件的表面所反射回色散物镜的测量光束，并输出待测工件的表面的形貌检测结果；提高信噪比部，用于对通过色散物镜的中心光瞳的非聚焦测量光束进行过滤，以减少或避免非聚焦测量光束进入到共焦光谱探测部，提高了共焦光谱探测部的信噪比，增大了工件形貌检测装置中共焦光谱探测部的极限分辨率，降低了非线性误差。

主权项：1.一种工件形貌检测装置，其特征在于，包括：光源部，用于形成具有不同波长的初始光束；分光器，用于接收所述初始光束中多种不同波长的子光束；所述分光器为Y型光纤；色散物镜，用于将所述不同波长的子光束向所述色散物镜的光轴的不同位置聚焦而形成不同的测量光束；其中，所述测量光束能够照射在待测工件的表面；共焦光谱探测部，用于接收被所述待测工件的表面所反射回所述色散物镜的测量光束，并输出所述待测工件的表面的形貌检测结果；其中，所述分光器能够接收被所述待测工件的表面所反射回所述色散物镜的测量光束，并将所述被所述待测工件的表面所反射回所述色散物镜的测量光束传输至所述共焦光谱探测部；提高信噪比部，用于对通过所述色散物镜的中心光瞳的非聚焦测量光束进行过滤，以减少或避免所述非聚焦测量光束进入到所述共焦光谱探测部；其中，所述非聚焦测量光束为未聚焦于所述待测工件的表面的测量光束；其中，所述提高信噪比部为挡光片，所述挡光片被配置为贴于所述色散物镜的任意一个或多个色散子物镜的中心光瞳区域；或者，所述提高信噪比部为所述任意一个或多个中心光瞳被涂墨处理的色散子物镜。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 海伯森技术(深圳)有限公司 一种工件形貌检测装置

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