申请/专利权人:徐州光引科技发展有限公司
申请日:2024-01-10
公开(公告)日:2024-04-12
公开(公告)号:CN117870866A
主分类号:G01J3/28
分类号:G01J3/28;G01J3/02
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开
摘要:本发明公开了一种基于光电探测器阵列的光谱仪及其制造方法,涉及重建式光谱仪技术领域,包括光电探测单元阵列,所述光电探测单元阵列包括若干光电探测单元,所述光电探测单元包括光电探测器和介质膜层,所述光电探测器包括感光部分和电极,所述介质膜层覆盖于所述感光部分,所述电极裸露。本发明可以消除数值孔径的影响,增大受光面积,使光耦合损耗减小,同时做到工艺简单。
主权项:1.一种光谱仪,其特征在于,所述光谱仪包括光电探测单元阵列,所述光电探测单元阵列包括若干光电探测单元,所述光电探测单元包括光电探测器和介质膜层,所述光电探测器包括感光部分和电极,所述介质膜层覆盖于所述感光部分,所述电极裸露。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 徐州光引科技发展有限公司 一种基于光电探测器阵列的光谱仪及其制造方法
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