申请/专利权人：极光先进雷射株式会社

申请日：2021-10-21

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117882010A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.12#公开

摘要：电子器件的制造方法包含以下步骤：通过基准波长的脉冲激光对第1感光基板的多个扫描场进行扫描曝光，针对多个扫描场各自中的多个位置，计测多个扫描场各自中的重合误差，针对多个位置，计算多个扫描场中的扫描方向相同的扫描场中的重合误差的平均值，计算波长相对于基准波长的调整量，以使第1重合误差参数比第2重合误差参数小，该第1重合误差参数是根据平均值和相对于基准波长变更了脉冲激光的波长的情况下的畸变计算的，该第2重合误差参数是根据平均值计算的，通过激光装置生成具有使用调整量来控制的波长的脉冲激光，将脉冲激光输出到曝光装置，在曝光装置内在第2感光基板曝光脉冲激光，以制造电子器件。

主权项：1.一种电子器件的制造方法，其包含以下步骤：通过基准波长的脉冲激光对第1感光基板的多个扫描场进行扫描曝光，针对所述多个扫描场各自中的多个位置，计测所述多个扫描场各自中的重合误差，针对所述多个位置，计算所述多个扫描场中的扫描方向相同的扫描场中的重合误差的平均值，计算波长相对于所述基准波长的调整量，以使第1重合误差参数比第2重合误差参数小，该第1重合误差参数是根据所述平均值和相对于所述基准波长变更了所述脉冲激光的波长的情况下的畸变计算的，该第2重合误差参数是根据所述平均值计算的，通过激光装置生成具有使用所述调整量来控制的波长的所述脉冲激光，将所述脉冲激光输出到曝光装置，在所述曝光装置内在第2感光基板曝光所述脉冲激光，以制造电子器件。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 极光先进雷射株式会社 电子器件的制造方法和光刻控制处理器

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