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【发明公布】一种28层8阶Ultra HDI及其制作方法_四川英创力电子科技股份有限公司_202410276404.7 

申请/专利权人:四川英创力电子科技股份有限公司

申请日:2024-03-12

公开(公告)日:2024-04-12

公开(公告)号:CN117881112A

主分类号:H05K3/46

分类号:H05K3/46;H05K3/42;H05K3/00;H05K1/09;H05K3/38;H05K1/03

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要:本发明公开了一种28层8阶UltraHDI及其制作方法,涉及印制电路板加工技术领域,方法包括:压合:12张RTF铜箔、8张PP1037叠放压合;减铜棕化:两侧各层积一张RTF铜箔,并采用一张PP隔开;将最外层的铜厚减铜至4μm‑6μm;镭射钻孔:镭射内靶设计6‑8个;镭射孔径70μm±5μm;等离子除胶;沉铜;填孔电镀;线路贴膜:采用MSAP专用干膜;负片酸性蚀刻;判断:若上述步骤已经层积16张RTF铜箔,则结束;若没有,则从减铜棕化开始执行。本方案采用超精细线路制作、超薄介质层压合、微小盲孔制作、层间对准度等技术,线宽线距达到30μm20μm,介质层30μm,盲孔孔径75μm。

主权项:1.一种28层8阶UltraHDI制作方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、压合:提供12张RTF铜箔,表面粗糙度评定参数Rz≤2μm,铜厚12μm;提供8张PP1037;将RTF铜箔和PP1037叠放,从上往下,第9层与第10层、第11层与第12层、第13层与第14层、第15层与第16层、第17层与第18层、第19层与第20层的RTF铜箔均采用一张PP1037隔开,第14层与第15层的RTF铜箔采用两张PP1037隔开;压合,压合后介质层厚度不超过30μm;S2、减铜棕化:在前一步骤制备的压合结构顶部和底部各层积一张RTF铜箔,并均采用一张PP与压合结构隔开;将最外层的铜厚减铜至4μm-6μm;S3、镭射钻孔:镭射内靶设计6-8个;镭射孔径70μm±5μm,通过自动光学检测进行确认;S4、等离子除胶:镭射钻孔后去除表面残留物;S5、沉铜;S6、填孔电镀:电镀之后的铜厚范围15μm-20μm;S7、线路贴膜:贴膜采用MSAP专用干膜,厚度15μm,干膜附着力测试满足10μm10μm,解析度满足10μm10μm;S8、负片酸性蚀刻:蚀刻后,所得盲孔孔径75μm,线宽线距30μm20μm;S9、判断:若上述步骤已经层积有16张RTF铜箔,则结束;若没有,则继续从S2开始执行;在步骤S2中,第9层层积的RTF铜箔采用一张PP1037隔开;第21层层积的RTF铜箔采用一张PP1037隔开;其余层层积的RTF铜箔采用一张PP1017隔开。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 四川英创力电子科技股份有限公司 一种28层8阶Ultra HDI及其制作方法

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