申请/专利权人：河南平原光电有限公司

申请日：2024-01-15

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117862985A

主分类号：B24B7/24

分类号：B24B7/24;G01N21/45;B24B51/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明涉及一种大尺寸光学平晶平行度精修方法，属于光学平面元件精密加工领域，利用测角仪结合哈气法精准判断平面元件的薄厚端、以及相关工艺参数的控制，大幅提高了光学平晶的平行度等级，使光学平晶平行度由θ≤10″提高到θ＝1″～2″的较高水平，平晶精修周期由原来的8h降低到现在的2～3h，一次交验合格率由原来的不足10％提高到现在的80％以上。

主权项：1.一种大尺寸光学平晶平行度精修方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：检查平晶平行度，对满足平行度要求的平晶，将平晶达到精修前工艺要求的某一平面作为基准面；若没有满足精修前工艺要求的平面，则使用环抛机抛磨加工平晶的任一平面直至其达到精修前工艺要求并将其作为基准面；基于所述平晶的基准面，检查所述平晶的平行度是否满足平行度要求；若满足要求则执行如下步骤：检查并确认环抛机上环抛模状态达到是否达到精修前工艺要求，若未达到精修前工艺要求，则对环抛模进行修整直至满足工艺要求；用测角仪观察确定平晶薄厚端；采用环抛机对平晶进行精修。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 河南平原光电有限公司 一种大尺寸光学平晶平行度精修方法

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