申请/专利权人：浙江雅晶电子有限公司

申请日：2023-12-25

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117878012A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本申请涉及晶片生产领域，一种晶片腐蚀装置包括设备箱、安装机构、晶片篮、升降机构、旋转机构和锁定机构，设备箱包括箱体和箱门，箱体设有容纳槽，箱门连接于箱体并遮盖容纳槽槽口，升降机构连接于箱体，升降机构用于驱使旋转机构沿竖向滑动，旋转机构用于驱使安装机构旋转，安装机构的转动轴线为竖直，晶片篮连接于安装机构，晶片篮用于供晶片放置，锁定机构包括固定组件，固定组件滑动连接于箱体，固定组件朝向箱体的一侧表面用于抵接箱门远离箱体的一侧表面。通过固定组件固定箱门，当晶片篮浸入腐蚀液内转动时，避免工作人员随意打开箱门，避免使得腐蚀液飞溅至工作人员身上，影响工作人员身体健康。

主权项：1.一种晶片腐蚀装置，其特征在于：包括设备箱（1）、安装机构（2）、晶片篮（3）、升降机构（4）、旋转机构（5）和锁定机构（6）；所述设备箱（1）包括箱体（11）和箱门（12）；所述箱体（11）设有容纳槽（111）；所述容纳槽（111）用于容纳腐蚀液；所述箱门（12）连接于箱体（11）并遮盖容纳槽（111）槽口；所述升降机构（4）连接于箱体（11）；所述升降机构（4）用于驱使旋转机构（5）沿竖向滑动；所述安装机构（2）包括转轴（21）和挂块（22）；所述转轴（21）竖直设置；所述转轴（21）的上端连接于旋转机构（5）；所述旋转机构（5）用于驱使转轴（21）旋转；所述挂块（22）位于容纳槽（111）内；所述挂块（22）连接于转轴（21）的下端；所述晶片篮（3）连接于挂块（22）；所述晶片篮（3）用于供晶片放置；所述锁定机构（6）包括固定组件（61）、抵接块（62）、复位件一（63）和齿轮（64）；所述抵接块（62）滑动嵌于容纳槽（111）内；所述抵接块（62）的滑动方向为水平；所述复位件一（63）连接于抵接块（62）与箱体（11）之间；所述复位件一（63）使得抵接块（62）具有靠近转轴（21）的趋势；所述抵接块（62）包括抵接部（621）和啮合部（622）；所述抵接部（621）靠近转轴（21）的一端设有导向斜面一（6211）；所述导向斜面一（6211）位于抵接部（621）的下端；所述导向斜面一（6211）上任一点至抵接部（621）的上端的距离随该点靠近抵接部（621）的另一端而增大；所述导向斜面一（6211）用于供挂块（22）上端抵接；所述抵接部（621）的另一端连接于啮合部（622）；所述齿轮（64）转动连接于箱体（11）；所述啮合部（622）与齿轮（64）相啮合；所述固定组件（61）滑动连接于箱体（11）；所述固定组件（61）朝向箱体（11）的一侧表面用于抵接箱门（12）远离箱体（11）的一侧表面；所述固定组件（61）包括齿条（611）；所述齿条（611）与齿轮（64）相啮合；所述抵接块（62）向靠近转轴（21）的方向移动的情况下；所述齿条（611）向靠近箱门（12）中心的方向移动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江雅晶电子有限公司 一种晶片腐蚀装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD