申请/专利权人：新格拉斯科技集团

申请日：2022-07-15

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117882181A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/687;H01L31/18;C23C16/458

优先权：["20210813 DE 102021004175.5"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.12#公开

摘要：本发明涉及用于加热大面积基板的加热系统的间隔件装置、用于加热大面积基板的加热系统和用于加热大面积基板的方法。

主权项：1.一种用于加热大面积基板的加热系统的间隔件装置，其中所述间隔件装置包括：框架；以及覆盖件，所述覆盖件由所述框架支撑，并且由若干相交柔性间隔件元件制成。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 新格拉斯科技集团 用于加热大面积基板的加热系统的间隔件装置、加热系统和加热方法

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