申请/专利权人：浙江东尼电子股份有限公司

申请日：2021-12-22

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN114438593B

主分类号：C30B29/36

分类号：C30B29/36;C30B35/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2022.05.24#实质审查的生效;2022.05.06#公开

摘要：本发明属于碳化硅技术领域，尤其涉及一种碳化硅单晶生长装置。本发明通过用于盛放碳化硅单晶生长原料的坩埚，以及加热筒，还包括设置在坩埚上的升降杆单元，设置在升降杆单元上的箱体单元，以及设置在箱体单元上并用于调整升降杆单元位置的转盘单元起到了灵活调整加热温度的技术效果。本发明具有结构简单，安装方便，通过升降杆调整坩埚与加热筒的相对位置以实现温度控制，并且设置挤压杆部使得坩埚上升到一定高度便实现自锁功能停止上升避免与加热筒脱离导致温度过低，以及设置伸缩柱部使得坩埚下降到一定高度亦可实现自锁功能避免与加热筒接触导致温度过高，同时设置了弹簧、传动杆、传动绳等传动结构用于实现自动锁定和自动解锁的优点。

主权项：1.一种碳化硅单晶生长装置，包括用于盛放碳化硅单晶生长原料的坩埚（11），以及加热筒（12），其特征在于，还包括设置在所述坩埚（11）上的升降杆单元（1），设置在所述升降杆单元（1）上的箱体单元（2），以及设置在所述箱体单元（2）上并用于调整所述升降杆单元（1）位置的转盘单元（3）；所述升降杆单元（1）包括连接在所述坩埚（11）上的升降杆（101），设置在所述升降杆（101）上的升降板（102），以及设置在所述升降板（102）上并用于螺接所述转盘单元（3）的内螺纹孔（103）；所述箱体单元（2）包括箱体（201），设置在所述箱体（201）上并用于安装所述升降杆（101）的升降杆孔（202）；所述转盘单元（3）包括设置在所述箱体（201）内侧面上并用于螺接所述内螺纹孔（103）的螺纹杆（301）；所述箱体单元（2）包括还包括设置在所述箱体（201）上并用于安装所述转盘单元（3）的转盘柱孔（203）；所述转盘单元（3）还包括设置在所述螺纹杆（301）上的转盘柱（302），以及设置在所述转盘柱（302）上的转盘（303）；所述箱体单元（2）还包括设置在所述箱体（201）并用于安装所述转盘单元（3）的挤压杆孔（204），以及设置在所述挤压杆孔（204）内环面上的挤压杆限位槽（205）；所述转盘单元（3）还包括设置在所述螺纹杆（301）上且安装在所述挤压杆孔（204）中并用于卡合所述挤压杆限位槽（205）的挤压杆部（304）；所述升降杆单元（1）还包括设置在所述升降杆（101）上的升降杆限位槽（104）；所述箱体单元（2）还包括设置在所述箱体（201）上并用于卡合所述升降杆限位槽（104）的伸缩柱部（206）；所述挤压杆部（304）包括挤压杆（304a），设置在所述挤压杆（304a）上的挤压杆空腔（304b），设置在所述挤压杆（304a）上并与所述挤压杆空腔（304b）连通的挤压杆限位柱孔（304c），设置在所述挤压杆限位柱孔（304c）上的挤压杆限位柱（304d），设置在所述挤压杆（304a）上并与所述挤压杆空腔（304b）连通的活动柱孔（304e），设置在所述活动柱孔（304e）上的活动柱（304f），设置在所述活动柱（304f）上的弹簧柱（304g），设置在所述弹簧柱（304g）上的弹簧（304h），设置在所述弹簧柱（304g）上并用于顶起所述弹簧（304h）的顶起板（304i），设置在所述弹簧柱（304g）上的绳孔（304j），以及设置在所述挤压杆限位柱（304d）上且穿过所述绳孔（304j）上并用于连接所述挤压杆空腔（304b）内侧面的拉动绳（304k）；所述挤压杆部（304）还包括设置在所述挤压杆限位柱（304d）上的拉簧板（304m），以及设置在所述拉簧板（304m）上且套接在所述挤压杆限位柱（304d）上并用于连接所述挤压杆空腔（304b）内侧面的拉簧（304n）；所述箱体单元（2）还包括设置在所述箱体（201）上的伸缩柱空腔（207），设置在所述箱体（201）上且与所述伸缩柱空腔（207）连通并用于安装所述伸缩柱部（206）的伸缩柱孔（208）和滑动柱孔（209）；所述伸缩柱部（206）包括设置在所述伸缩柱孔（208）上的伸缩柱（206a），设置在所述伸缩柱（206a）上的连接柱（206b），设置在所述滑动柱孔（209）上的滑动柱（206c），设置在所述连接柱（206b）与所述滑动柱（206c）上的传动柱（206d），设置在所述连接柱（206b）上的弹簧环（206e），设置在所述伸缩柱空腔（207）内侧底面上的弹簧筒（206f），以及设置在所述弹簧筒（206f）上并用于顶起所述弹簧环（206e）的顶起弹簧（206g）。

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权利要求：

百度查询： 浙江东尼电子股份有限公司 一种碳化硅单晶生长装置

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