申请/专利权人：科磊股份有限公司

申请日：2021-06-04

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN115698628B

主分类号：G01B11/25

分类号：G01B11/25;G03F7/20

优先权：["20200612 US 16/900,626"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2023.06.06#实质审查的生效;2023.02.03#公开

摘要：根据本公开的一或多个实施例，公开一种度量系统。所述度量系统包含经配置以固定样本的载物台，一或多个基于衍射叠加DBO度量目标安置于所述样本上。所述度量系统包含光源及一或多个传感器。所述度量系统包含经配置以将来自所述光源的照明光引导到所述样本的所述一或多个DBO度量目标的一组光学器件，所述一组光学器件包含半波片，所述半波片可选择性地插入到光学路径中，使得所述半波片选择性地传递来自照明通道的照明光及来自收集通道的收集光两者，所述半波片经配置以选择性地将来自所述光源的线性偏振照明光的定向与所述一或多个DBO度量目标的光栅的定向对准。

主权项：1.一种度量系统，其包括：载物台，其经配置以固定样本，其中一或多个基于衍射叠加度量目标安置于所述样本上，其中所述一或多个基于衍射叠加度量目标包含一或多个对角线基于衍射叠加度量目标；光源；一或多个传感器；一组光学器件，其经配置以将来自所述光源的照明光引导到所述样本的所述一或多个基于衍射叠加度量目标，其中所述一组光学器件包含可插入、可旋转半波片，其中所述可插入、可旋转半波片能选择性地插入到光学路径中，使得所述可插入、可旋转半波片选择性地传递来自所述一组光学器件的照明通道的照明光及来自所述一组光学器件的收集通道的收集光两者，其中所述可插入、可旋转半波片经配置以选择性地将来自所述光源的线性偏振照明光的定向与所述一或多个基于衍射叠加度量目标的光栅的定向对准；及控制器，其通信地耦合到所述一或多个传感器，其中所述控制器包含一或多个处理器，所述一或多个处理器经配置以：从所述一或多个传感器接收指示从所述一或多个对角线基于衍射叠加度量目标收集的照明的一或多个信号；及基于从所述一或多个传感器接收的所述一或多个信号确定所述一或多个对角线基于衍射叠加度量目标的第一层与第二层之间的叠加偏移。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 科磊股份有限公司 用于测量对角线基于衍射叠加目标的度量系统及方法

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