申请/专利权人：索克普拉科学与工程公司

申请日：2019-12-17

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN113226975B

主分类号：B81B3/00

分类号：B81B3/00;B81B7/02

优先权：["20181217 US 62/780,589"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2021.12.21#实质审查的生效;2021.08.06#公开

摘要：一种微机电系统MEMS设备，包括：惯性部件，被配置为通过柔性连接而连接至结构，柔性连接响应于对结构所施加的外部刺激而允许惯性部件相对于结构发生变形或移动。一个或多个谐振部件连接至结构或惯性部件，谐振部件具有谐振模式。换能单元测量谐振部件相对于惯性部件和或结构的振荡运动。电子控制单元施加静电力泵来诱使谐振部件在谐振模式下发生振荡运动，振荡运动是静电力的强度的非线性函数。谐振部件被配置为耦合至惯性部件和或结构，以使得惯性部件响应于外部刺激所发生的变形和或运动改变泵的强度，电子控制单元被配置为用于产生并且输出作为所测量的振荡运动的数学函数的输出信号。还提供一种用于为暴露于外部刺激的MEMS设备产生神经形态输出的系统。

主权项：1.一种微机电系统MEMS设备，包括：惯性部件，被配置为通过柔性连接而连接至结构，所述柔性连接响应于对所述结构施加的外部刺激而允许所述惯性部件相对于所述结构发生变形或移动；至少一个谐振部件，被适配为连接至所述结构或所述惯性部件，所述谐振部件具有至少一种谐振模式；至少一个换能单元，用于测量所述至少一个谐振部件相对于所述惯性部件和或所述结构的振荡运动；以及电子控制单元，被配置为用于施加静电力的泵来诱使所述至少一个谐振部件在所述谐振模式下发生所述振荡运动，所述振荡运动是所述静电力的强度的非线性函数，其中，所述至少一个谐振部件被配置为耦合至所述惯性部件和或所述结构，以使得所述惯性部件响应于所述外部刺激所发生的变形和或运动改变所述泵的所述强度，所述电子控制单元被配置为用于产生并且输出作为测量的所述振荡运动的数学函数的输出信号。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 索克普拉科学与工程公司 神经形态微机电系统设备

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