申请/专利权人：青岛高测科技股份有限公司

申请日：2023-08-25

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220763131U

主分类号：B28D7/00

分类号：B28D7/00;B28D7/04;B28D5/04

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：本实用新型公开了一种晶棒加工系统上下料单元及晶棒加工系统，包括晶棒转运装置和旋转载料台，晶棒转运装置上转动设置有第一晶棒夹爪组件和第二晶棒夹爪组件，第一晶棒夹爪组件用于夹持待加工晶棒，第二晶棒夹爪组件用于夹持加工后晶棒，旋转载料台上转动设置有多个晶棒夹持工位，每个晶棒夹持工位上设置有载料夹持装置，晶棒转运装置可在旋转载料台和晶棒加工系统的多个晶棒加工工位之间移动，以将待加工晶棒从载料夹持装置运送至晶棒加工工位，和或将加工后晶棒从晶棒加工工位运送至载料夹持装置。本实用新型缩短了上下料时间节拍，设备结构紧凑，运行稳定。

主权项：1.一种晶棒加工系统上下料单元，其特征在于，包括晶棒转运装置和旋转载料台，晶棒转运装置上转动设置有第一晶棒夹爪组件和第二晶棒夹爪组件，第一晶棒夹爪组件用于夹持待加工晶棒，第二晶棒夹爪组件用于夹持加工后晶棒，旋转载料台上转动设置有多个晶棒夹持工位，每个晶棒夹持工位上设置有载料夹持装置，晶棒转运装置可在旋转载料台和晶棒加工系统的多个晶棒加工工位之间移动，以将待加工晶棒从载料夹持装置运送至晶棒加工工位，和或将加工后晶棒从晶棒加工工位运送至载料夹持装置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 青岛高测科技股份有限公司 晶棒加工系统上下料单元及晶棒加工系统

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