申请/专利权人：南昌欧菲显示科技有限公司

申请日：2019-05-16

公开（公告）日：2020-02-11

公开（公告）号：CN210052016U

主分类号：G03F7/20(20060101)

分类号：G03F7/20(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-未缴年费专利权终止

法律状态：2023.05.26#未缴年费专利权终止;2020.02.11#授权

摘要：本实用新型涉及一种光罩及曝光装置，光罩包括：依次层叠的玻璃基板，线路层和防指纹膜；其中，线路层和防指纹膜共同形成有多个图形单元，以及包围多个图形单元的无效区；无效区设有裸露区，裸露区未被防指纹膜覆盖，以使至少部分的线路层暴露，便于静电导出。技术效果：在无效区设有未被防指纹膜覆盖的裸露区，如此设置，能够使得该位置的线路层暴露出来，在曝光过程中，裸露区与曝光装置的导电夹持部接触，使得光罩上的静电经由线路层，从裸露区导入到曝光装置中，通过曝光装置接地处理，从而将静电导入大地，减少累积在光罩中的静电，尽量避免击伤防指纹膜及线路层，提高光罩的使用寿命。

主权项：1.一种光罩，其特征在于，包括：依次层叠的玻璃基板，线路层和防指纹膜；其中，所述线路层和所述防指纹膜共同形成有多个图形单元，以及包围多个所述图形单元的无效区；所述无效区设有裸露区，所述裸露区未被所述防指纹膜覆盖，以使至少部分的所述线路层暴露，便于静电导出。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南昌欧菲显示科技有限公司 光罩及曝光装置

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